آگهی دفاع از رساله دکتری
پردیس علـوم
دانشکده فیزیک

عنوان: تعیین کیفیت الگوهای لیتوگرافی با اندازه‌گیری نمایه موجبرهای نوری در بستر الکترواپتیک مبتنی برتوابع انتقال اپتیکی

دانشجو : امیرحسین شهبازی
رشته:  فیزیک

استاد راهنما اول: دکتر عطااله کوهیان
استاد راهنما دوم: دکتر خسرو معدنی پور (دانشگاه صنعتی امیرکبیر)

زمان : چهارشنبه  1397/07/11  ساعت 15:30
مکان : دانشکده فیزیک دانشگاه تهران – ساختمان خیام – کلاس دکتر جناب

چکیده:
هدف نهایی این پژوهش، ارائه روشی مناسب برای ایجاد طرح‌واره و انجام لیتوگرافی به منظور ساخت ماسک‌های اپتیکی و موجبرهای نوری در بستر مواد الکترواپتیک مانند لیتیوم نایوبیت و تعیین کیفیت آن است. برای این منظور، روشی برپایه جاروب لیزر پیوسته به شکل نظری و تجربی ارائه می‌گردد.
برای ایجاد ماسک اپتیکی، جاروب لیزر پیوسته و شِبه‌پیوسته روی لایه نازک فلزی فرمولبندی شد. همچنین به کمک شبیه‌سازی و مقایسه با نتایج تجربی تمامی پارامترهای دخیل در کندگی لایه‌نازک در دو دستگاه مکانی و زمانی ارائه شده است. برای محک زدن روش‌های ارائه شده، روش‌های تعیین کیفیت بر پایه تابع انتقال اپتیکی، سنجش زبری لبه خط و زبری پهنای خط روی نتایج اعمال شد تا چهارچوب کیفی بهینه برای ساخت بدست آید. همچنین درکنار روش‌های ساخت ماسک، روش‌های لیزرلیتوگرافی نیز بررسی و برای ساخت ماسک اپتیکی و موجبر ماخ-زندر بهینه‌سازی شد.